다음에서 설명하는 박막형성 공정은?
○ 단차 피복성이 매우 우수하다.○ 박막 밀도가 높고, 성장 제어가 가능하다.○ 전구체가 순차적으로 공급되어 표면 반응을 통해 박막이 성장한다.
- ①스퍼터링(sputtering)
- ②진공기화(vacuum evaporation)
- ③원자층 증착(atomic layer deposition)
- ④분자빔 결정성장(molecular beam epitaxy)
선지를 골라 바로 채점해 보세요.
정답 ③
출처: 인사혁신처 공개 기출(공공데이터포털, 이용허락 제한 없음)