다음 화학기상증착법에 의한 박막성장의 단계를 진행 순서대로 바르게 나열한 것은?
ㄱ. 표면에서 반응물의 흡착ㄴ. 표면에서 화학종의 이동ㄷ. 표면으로 반응물의 이동ㄹ. 경계층 밖으로 부생성물의 확산ㅁ. 표면으로부터 부생성물의 탈착
- ①ㄱ → ㄴ → ㄷ → ㄹ → ㅁ
- ②ㄴ → ㄱ → ㄹ → ㄷ → ㅁ
- ③ㄷ → ㄱ → ㄴ → ㅁ → ㄹ
- ④ㄷ → ㄴ → ㄱ → ㅁ → ㄹ
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정답 ③
출처: 인사혁신처 공개 기출(공공데이터포털, 이용허락 제한 없음)