웨이퍼 표면 위에 스핀 코팅(spin coating)을 통해 감광제를 도포하였다. 목표한 두께에 비해 도포된 감광제층이 얇을 경우 이를 개선하기 위한 방법은?
- ①웨이퍼의 반경을 늘린다.
- ②감광제 용액의 점도를 낮춘다.
- ③웨이퍼의 회전속도를 낮춘다.
- ④감광제 용액 내 고형분의 함량을 낮춘다.
선지를 골라 바로 채점해 보세요.
정답 ③
출처: 인사혁신처 공개 기출(공공데이터포털, 이용허락 제한 없음)
[9급 지방직 공업화학 2023년 20번]
공업화학
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