다음은 반도체 사진공정(photolithography)의 단위 공정들이다. 순서대로 바르게 나열한 것은?
ㄱ. 감광제 도포(spin coating)ㄴ. 현상(developing)ㄷ. 노광(exposure)ㄹ. 저온 열처리(soft baking)
- ①ㄱ → ㄷ → ㄴ → ㄹ
- ②ㄱ → ㄹ → ㄷ → ㄴ
- ③ㄹ → ㄱ → ㄷ → ㄴ
- ④ㄹ → ㄷ → ㄴ → ㄱ
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정답 ②
출처: 인사혁신처 공개 기출(공공데이터포털, 이용허락 제한 없음)