박막적층을 위한 반응물 와 가 확산하여 표면반응을 통해 생성물 는 증착되고 생성물 는 확산된다.
확산 영역에서는 어떠한 반응과 대류도 없다. 반응은 오직 성장하는 박막 표면에서만 일어난다. 에 대한 혼합물에서의 유효 확산계수는 으로 정의하며, 의 몰분율은 , 혼합물에서의 총 몰농도는 로 나타낸다. 박막이 성장하는 두께 방향을 축으로 설정할 때, 기체 의 방향 몰 플럭스()는?
- ①
- ②
- ③
- ④
선지를 골라 바로 채점해 보세요.
정답 ④
출처: 인사혁신처 공개 기출(공공데이터포털, 이용허락 제한 없음)