[공조냉동기계기술사 제140회 1교시 4번]

1)

• 0.1㎛급 초미세입자를 HEPA보다 높은 효율로 포집하는 필터
• 초극세 유리섬유(Glass fiber) 여과재 기반의 촘촘한 구조
• 확산 및 차단 원리를 통한 미립자 포집 성능 극대화
• 초고청정실(Super Clean Room)의 핵심 여과 요소

공식: $E_{ULPA} \ge 99.999\%\ (d_p = 0.12\,\mu m)$

2)

• 반도체 웨이퍼 제조 및 미세 노광 공정 라인
• OLED 등 고해상도 초정밀 디스플레이 생산 시설
• 나노바이오 및 첨단 제약 생산, 생명공학 연구 시설
• 초정밀 광학기기 조립 및 첨단 나노 기술 연구실

3)

• 대상 입자 크기: ULPA가 HEPA보다 작은 입경 기준으로 평가
• 포집 효율: ULPA가 HEPA보다 투과율이 한 자릿수 이상 낮음
• 압력 손실: ULPA가 여과재 밀도가 높아 초기 압력손실 큼
• 적용 청정도: ULPA는 최고 청정도 등급, HEPA는 그보다 낮은 등급 청정실

공식: $E_{HEPA} \ge 99.97\%\ (d_p = 0.3\,\mu m)$, $E_{ULPA} \ge 99.999\%\ (d_p = 0.12\,\mu m)$